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您现在的位置:工程业绩 >> 亚洲硅业(青海)有限公司多晶硅
  • 项目名称: 亚洲硅业(青海)有限公司多晶硅
  • 项目编号: GC025

项目内容

多晶硅尾气变压吸附提纯装置

氯气脱水装置

硅合成炉PSA回收氢装置

 

规模  

3000Nm3/h多晶硅尾气变压吸附提纯装置

280Nm3/h氯气脱水装置

600Nm3/h硅合成炉PSA回收氢装置

 

技术指标 

处理气量:6000Nm3/h    

原料气组成:98.52%H20.88%N2,0.1%总碳(包括甲烷、一氧化碳、二氧化碳等),0.5%HCl+硅烷)                                    

工作压力:1.2MPa                                    

产品气H2+N2含量:≥99.9995%                              

产品中N2含量:≤0.5%                  

产品中总碳含量:≤0.0005%                

氢气回收率:≥95.0% 

处理气量:280Nm3/h    

原料气组成:99.6%Cl2,含水400ppmNCl2 含量40ppm                                    

工作压力:0.47MPa                                    

净化后Cl2含量:≥99.8%                              

净化后H2O含量:≤10ppm                                  

氯气回收率:≥99.0%      

NCl2脱除率:≥50%  

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            

技术特点                                          

采用我公司研制的氯硅烷专用吸附剂,可有效回收氢气和氯硅烷,完全脱除有害介质,很好地满足了多晶硅苛刻的生产工艺要求。

采用TSA法干燥工艺,结合我公司研发专用干燥剂,可将氯气干燥到含水量小于2ppm,装置运行稳定可靠,目前,该类装置我公司的市场占有率高达90%,有着很好的口碑。 

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