项目内容

多晶硅尾气变压吸附提纯装置

氯气脱水装置

硅合成炉PSA回收氢装置

规模  

3000Nm3/h多晶硅尾气变压吸附提纯装置

280Nm3/h氯气脱水装置

600Nm3/h硅合成炉PSA回收氢装置

技术指标 

处理气量：6000Nm3/h；    

原料气组成：98.52%H2，0.88%N2,0.1%总碳（包括甲烷、一氧化碳、二氧化碳等），0.5%（HCl+硅烷）                                    

工作压力：1.2MPa                                    

产品气H2+N2含量：≥99.9995%                              

产品中N2含量：≤0.5%                  

产品中总碳含量：≤0.0005%                

氢气回收率：≥95.0% 

处理气量：280Nm3/h；    

原料气组成：99.6%Cl2，含水400ppm，NCl2 含量40ppm                                    

工作压力：0.47MPa                                    

净化后Cl2含量：≥99.8%                              

净化后H2O含量：≤10ppm                                  

氯气回收率：≥99.0%      

NCl2脱除率：≥50%  

技术特点                                          

采用我公司研制的氯硅烷专用吸附剂，可有效回收氢气和氯硅烷，完全脱除有害介质，很好地满足了多晶硅苛刻的生产工艺要求。

采用TSA法干燥工艺，结合我公司研发专用干燥剂，可将氯气干燥到含水量小于2ppm，装置运行稳定可靠，目前，该类装置我公司的市场占有率高达90%，有着很好的口碑。