详细介绍
项目内容
多晶硅尾气变压吸附提纯装置
氯气脱水装置
硅合成炉PSA回收氢装置
规模
3000Nm3/h多晶硅尾气变压吸附提纯装置
280Nm3/h氯气脱水装置
600Nm3/h硅合成炉PSA回收氢装置
技术指标
处理气量:6000Nm3/h;
原料气组成:98.52%H2,0.88%N2,0.1%总碳(包括甲烷、一氧化碳、二氧化碳等),0.5%(HCl+硅烷)
工作压力:1.2MPa
产品气H2+N2含量:≥99.9995%
产品中N2含量:≤0.5%
产品中总碳含量:≤0.0005%
氢气回收率:≥95.0%
处理气量:280Nm3/h;
原料气组成:99.6%Cl2,含水400ppm,NCl2 含量40ppm
工作压力:0.47MPa
净化后Cl2含量:≥99.8%
净化后H2O含量:≤10ppm
氯气回收率:≥99.0%
NCl2脱除率:≥50%
技术特点
采用我公司研制的氯硅烷专用吸附剂,可有效回收氢气和氯硅烷,完全脱除有害介质,很好地满足了多晶硅苛刻的生产工艺要求。
采用TSA法干燥工艺,结合我公司研发专用干燥剂,可将氯气干燥到含水量小于2ppm,装置运行稳定可靠,目前,该类装置我公司的市场占有率高达90%,有着很好的口碑。
关键词: 亚洲硅业某有限公司多晶硅
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